第160章 第 160 章
“行了,先休息一会吧!”看他还要说话,陆见连忙说:“我现在就开始做实验,你不用担心,电路图已经画好了,我检查过,没有问题。”
听到他的话蓝明达就放心了,安心坐了下来。
陆见回到自己位置上,在单晶硅片上滴上光刻胶,又用旋涂技术将其涂均匀,让晶圆表面形成一层光刻薄膜。之后利用光学透镜将掩膜桑的电路投射到晶圆上,这里使用的光线是紫外线。
陆见手很稳,电路图被完美地投在了晶圆上面。
之后将光刻过的晶圆放入显影液中,再之后就是冲洗,放入腐蚀液中,经过冲洗之后填充二氧化硅用于绝缘
这套工艺步骤很多,也很复杂,不过陆见还是很顺利地进行了下去,等到陆见将所有步骤做完的时候已经非常晚了,中途简明远和徐言他们轮流帮忙,等到陆见将各元器件连接完成的时候已经是凌晨四点多了。
陆见揉揉疲乏的眼睛,这个光学透镜倍率还是不行,如果能再高些的话他们能生成的晶体管更多,要知道未来工艺达到一定水平片之后,一块晶圆上可以分割出成千上万个芯片,可惜现在一切都是梦了。
陆见看了实验室里面的人,大都已经趴在桌子上睡着了,一直说要陪着他等结果的简明远还有蓝明达他们也都撑着手迷糊着。因为芯片制作的最后一个步骤是连接个元器件,要将金属铜填充到各晶体管之间作为连接线,工艺多且复杂,需要不断重复很多层,整个过程差不多就几百个步骤,他们都已经撑不住了。
陆见将芯片放在盒子里,站起来伸了个懒腰,无声地打了几个哈欠,并没有叫醒他们的意思,现在都四点多了,还是让他们休息一吧,没多久就天亮了。
心里这么想着陆见拿起装芯片的盒子,脚步轻轻地回到了自己的办公室,之后拿起水杯喝了一口水,也准备趴一会,还好现在已经五月了,天气已经快三十度了,也不用担心他们着凉。
心里这么想着他就闭上眼睛趴着睡了起来,脑子实在是太累了,还没等他睡着门就被突然被从外面打开了。
“陆工,你在这啊?”
脚步声到了陆见桌子边上,陆见没办法只能勉强睁开眼睛太起来,进来的是蓝明达,门外面还站着简明远、赵磊和徐言,应该是突然醒过来发现他没在。
“芯片已经做好了,在这。”知道他们在想什么,陆见直接将桌子抽屉里面装着芯片的盒子拿了出来。
蓝明达迫不及待地接了过来,打开看了起来,还一边问:“你做完多久了呀?没有什么问题吧?怎么不喊我们呢?现在直接可以做测试了。”
门外的徐言他们也都跑了进来,围着蓝明达看了起来。
陆见无奈地说:“四点刚弄完,才趴在桌子上准备休息一会你们就进来了。”
蓝明达点头,“那你继续休息,我们去做测试了。”说着几个人就要出去。
陆见:“等一下,等天亮了再做,外面不少人都睡着了,你们也都休息一会吧?”都这个时间了,做测试肯定会将其他人都吵醒的。
几个人安静了一下,就在这时又有人跑了过来,人还没到声音已经传了过来,“蓝工,陆工他在办公室吗?其他地方都没人呀?”
陆见:“.......”看来这是全部都醒了。
那人进来看到他们这样还有些奇怪,“陆工?”
陆见知道这是别想睡了,只能说:“走吧,走吧,现在都去做测试去,今天做完了早些下班。”
“好的。”听到他的话蓝明达应了一声就带着人都出去了,陆见没办法也只能跟在他们后面过去了。
一块芯片完成之后需要经过多道工序检测,达不到要求的机会被丢弃。
测试的时候陆见并没有上手,只是看着,他们之前也都做过多次测试了,整个过程都很顺利,陆见就那么看着,慢慢地整个人都迷糊了起来,不过他还是强撑着,毕竟这块芯片关乎到他们之后的研究。
这次测试包括接触测试、功能测试还有直流和交流参数测试。
等到天光大亮的时候,测试终于做完了。
测试的报告在蓝明达手上,陆见也没准备过去抢,坐在原位等待他公布答案。
蓝明达仔细地看了一下,高兴地说道:“本次芯片测试非常成功,完全合乎要求,接触测试中所得电压值都超过了特定的电压范围,树枝在3V以上,所以都是开路。电路逻辑功能正确........”
他一个个数字报出来,在场的人都是满脸笑容,之前那么久都没有进展,都已经快没有信心了,没想到整个实验就在这短短一天之内逆转了。
等他说完不少人已经欢呼起来了。
“我的天啊,真的是4000个晶体管的芯片啊!”
“我们终于做出来了。”
“还是陆工脑子好使,一下子就想出办法来了。”
“对呀,对呀,我们可是卡在这里两个月了。”
“那下面是不是要开始做存储器什么的了。”
“......”
实验室非常热闹,欢呼声一片,这算是度过了一个大难关了,如果只能用2002号的话因为性能的关系肯定有很多地方不好设计,现在可算是能省不少事了,而且数控装置的体积和重量也会小一些。
陆见看见他们这样,心中也很高兴,精神上的亢奋似乎已经将身体的疲惫完全压了下去。
就在陆见准备说话的时候,突然门外传来了一个声音,“哟,这是发生什么好事了?这么高兴?前几天不还都愁眉苦脸吗?”
却原来陆先锋过来了,他站在门口,似笑非笑地看着他们,边上还站着翟志远。
“都忙一夜了,你们都先去食堂吃早饭吧!顺便给我和蓝工也带一份。”
陆见对着实验室里的研究员说了一句就急忙走了过去,“陆老,翟工,这是过来有事?”
实验室里的研究员也都累了一夜,非常听话地都走了,实验室里面就剩下陆见、蓝明达他们四个。
陆先锋双手背在要后面,在实验室里曼看来一圈,一副很悠闲的样子,“没什么事,就是在楼下听到你们这边热闹得很,所以过来瞧瞧,看看是不是发生什么好事了?”
没等陆见说话蓝明达就拿着手上的报告快步走了过来,极度兴奋地说:“陆老,翟工,快看看这份测试报告,我们项目组已经成功研制出了拥有4000颗晶体管的芯片了。”
“真的?”听到这个消息两人都是满脸吃惊,陆先锋更是直接抢过测试报告看来起来。
“那是当然,芯片测试出来的数据都是合格的,整个电路都没有问题。”蓝明达看起来十分得意的样子。
翟志远有些难以置信,看着他说:“你昨天早上不还苦哈哈的,说项目进展不顺利,一点办法都没有吗?怎么一天过去连测试报告都已经出来了,你昨天该不会是故意骗我的。”翟志远还清楚地记得蓝明达昨天那副生无可恋的样子,这变化也太快了,想让人相信都难。
蓝明达故作神秘地看着他说:“这你就不知道了吧?谁让我们这有陆工啊!我们纠结两个月的难题被他一下子就解决了,我和你们说啊,昨天早上我们都想要放弃了,结果陆工突然就跑到实验台那边做起了实验,就花了一天一夜的时间,这二代芯片就被弄了出来,也就是这个光学透镜不给力,不然我们还能做出更好的芯片出来。”
陆见听完之后总是觉得蓝明达这话说得虽然和事实差不多,可就感觉像是用了夸张的手法一样,怪怪得,应该是他的语气问题吧?
翟志远也是被惊了一下,“光学透镜,怎么会用这个,你们是用光刻技术来生成晶体管吗?”他十分好奇地看着陆见。
陆见点头,“没错,利用光学透镜,将整个电路图直接光刻上去,只可惜现在的光学透镜倍率不行......”后面的话陆见并没有说完,很多研究都是这样,不单单只是一项独立的技术来,需要各个地方的配合。
就在陆见遗憾的时候,还在看报告的陆先锋突然抬起了头,皱眉想着什么,然后有些迟疑地说:“我记得S市有一家光学精密机械研究所,说不定里面会有倍率更高的光学透镜。还有首都的中科院光电技术研究所,A市也还有一家光学研究所,是可以试着找一下,不行的话也可以像上面打下申请,上面肯定会出面帮忙的。说不定能让那些光学研究所专门开个透镜研究项目,那以后不就方便了。”
陆先锋一下子说得挺对,而且还都挺有道理的,蓝明达立即赞同地说:“没错,没错,一定要问一问,说不定咱们还能生成6000和8000的晶体管芯片来。”
陆见也觉得可行,不过还是要让数控机床项目组的负责人上报比较好,他还是要去找周老,正好将最新的进展告诉他。
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听到他的话蓝明达就放心了,安心坐了下来。
陆见回到自己位置上,在单晶硅片上滴上光刻胶,又用旋涂技术将其涂均匀,让晶圆表面形成一层光刻薄膜。之后利用光学透镜将掩膜桑的电路投射到晶圆上,这里使用的光线是紫外线。
陆见手很稳,电路图被完美地投在了晶圆上面。
之后将光刻过的晶圆放入显影液中,再之后就是冲洗,放入腐蚀液中,经过冲洗之后填充二氧化硅用于绝缘
这套工艺步骤很多,也很复杂,不过陆见还是很顺利地进行了下去,等到陆见将所有步骤做完的时候已经非常晚了,中途简明远和徐言他们轮流帮忙,等到陆见将各元器件连接完成的时候已经是凌晨四点多了。
陆见揉揉疲乏的眼睛,这个光学透镜倍率还是不行,如果能再高些的话他们能生成的晶体管更多,要知道未来工艺达到一定水平片之后,一块晶圆上可以分割出成千上万个芯片,可惜现在一切都是梦了。
陆见看了实验室里面的人,大都已经趴在桌子上睡着了,一直说要陪着他等结果的简明远还有蓝明达他们也都撑着手迷糊着。因为芯片制作的最后一个步骤是连接个元器件,要将金属铜填充到各晶体管之间作为连接线,工艺多且复杂,需要不断重复很多层,整个过程差不多就几百个步骤,他们都已经撑不住了。
陆见将芯片放在盒子里,站起来伸了个懒腰,无声地打了几个哈欠,并没有叫醒他们的意思,现在都四点多了,还是让他们休息一吧,没多久就天亮了。
心里这么想着陆见拿起装芯片的盒子,脚步轻轻地回到了自己的办公室,之后拿起水杯喝了一口水,也准备趴一会,还好现在已经五月了,天气已经快三十度了,也不用担心他们着凉。
心里这么想着他就闭上眼睛趴着睡了起来,脑子实在是太累了,还没等他睡着门就被突然被从外面打开了。
“陆工,你在这啊?”
脚步声到了陆见桌子边上,陆见没办法只能勉强睁开眼睛太起来,进来的是蓝明达,门外面还站着简明远、赵磊和徐言,应该是突然醒过来发现他没在。
“芯片已经做好了,在这。”知道他们在想什么,陆见直接将桌子抽屉里面装着芯片的盒子拿了出来。
蓝明达迫不及待地接了过来,打开看了起来,还一边问:“你做完多久了呀?没有什么问题吧?怎么不喊我们呢?现在直接可以做测试了。”
门外的徐言他们也都跑了进来,围着蓝明达看了起来。
陆见无奈地说:“四点刚弄完,才趴在桌子上准备休息一会你们就进来了。”
蓝明达点头,“那你继续休息,我们去做测试了。”说着几个人就要出去。
陆见:“等一下,等天亮了再做,外面不少人都睡着了,你们也都休息一会吧?”都这个时间了,做测试肯定会将其他人都吵醒的。
几个人安静了一下,就在这时又有人跑了过来,人还没到声音已经传了过来,“蓝工,陆工他在办公室吗?其他地方都没人呀?”
陆见:“.......”看来这是全部都醒了。
那人进来看到他们这样还有些奇怪,“陆工?”
陆见知道这是别想睡了,只能说:“走吧,走吧,现在都去做测试去,今天做完了早些下班。”
“好的。”听到他的话蓝明达应了一声就带着人都出去了,陆见没办法也只能跟在他们后面过去了。
一块芯片完成之后需要经过多道工序检测,达不到要求的机会被丢弃。
测试的时候陆见并没有上手,只是看着,他们之前也都做过多次测试了,整个过程都很顺利,陆见就那么看着,慢慢地整个人都迷糊了起来,不过他还是强撑着,毕竟这块芯片关乎到他们之后的研究。
这次测试包括接触测试、功能测试还有直流和交流参数测试。
等到天光大亮的时候,测试终于做完了。
测试的报告在蓝明达手上,陆见也没准备过去抢,坐在原位等待他公布答案。
蓝明达仔细地看了一下,高兴地说道:“本次芯片测试非常成功,完全合乎要求,接触测试中所得电压值都超过了特定的电压范围,树枝在3V以上,所以都是开路。电路逻辑功能正确........”
他一个个数字报出来,在场的人都是满脸笑容,之前那么久都没有进展,都已经快没有信心了,没想到整个实验就在这短短一天之内逆转了。
等他说完不少人已经欢呼起来了。
“我的天啊,真的是4000个晶体管的芯片啊!”
“我们终于做出来了。”
“还是陆工脑子好使,一下子就想出办法来了。”
“对呀,对呀,我们可是卡在这里两个月了。”
“那下面是不是要开始做存储器什么的了。”
“......”
实验室非常热闹,欢呼声一片,这算是度过了一个大难关了,如果只能用2002号的话因为性能的关系肯定有很多地方不好设计,现在可算是能省不少事了,而且数控装置的体积和重量也会小一些。
陆见看见他们这样,心中也很高兴,精神上的亢奋似乎已经将身体的疲惫完全压了下去。
就在陆见准备说话的时候,突然门外传来了一个声音,“哟,这是发生什么好事了?这么高兴?前几天不还都愁眉苦脸吗?”
却原来陆先锋过来了,他站在门口,似笑非笑地看着他们,边上还站着翟志远。
“都忙一夜了,你们都先去食堂吃早饭吧!顺便给我和蓝工也带一份。”
陆见对着实验室里的研究员说了一句就急忙走了过去,“陆老,翟工,这是过来有事?”
实验室里的研究员也都累了一夜,非常听话地都走了,实验室里面就剩下陆见、蓝明达他们四个。
陆先锋双手背在要后面,在实验室里曼看来一圈,一副很悠闲的样子,“没什么事,就是在楼下听到你们这边热闹得很,所以过来瞧瞧,看看是不是发生什么好事了?”
没等陆见说话蓝明达就拿着手上的报告快步走了过来,极度兴奋地说:“陆老,翟工,快看看这份测试报告,我们项目组已经成功研制出了拥有4000颗晶体管的芯片了。”
“真的?”听到这个消息两人都是满脸吃惊,陆先锋更是直接抢过测试报告看来起来。
“那是当然,芯片测试出来的数据都是合格的,整个电路都没有问题。”蓝明达看起来十分得意的样子。
翟志远有些难以置信,看着他说:“你昨天早上不还苦哈哈的,说项目进展不顺利,一点办法都没有吗?怎么一天过去连测试报告都已经出来了,你昨天该不会是故意骗我的。”翟志远还清楚地记得蓝明达昨天那副生无可恋的样子,这变化也太快了,想让人相信都难。
蓝明达故作神秘地看着他说:“这你就不知道了吧?谁让我们这有陆工啊!我们纠结两个月的难题被他一下子就解决了,我和你们说啊,昨天早上我们都想要放弃了,结果陆工突然就跑到实验台那边做起了实验,就花了一天一夜的时间,这二代芯片就被弄了出来,也就是这个光学透镜不给力,不然我们还能做出更好的芯片出来。”
陆见听完之后总是觉得蓝明达这话说得虽然和事实差不多,可就感觉像是用了夸张的手法一样,怪怪得,应该是他的语气问题吧?
翟志远也是被惊了一下,“光学透镜,怎么会用这个,你们是用光刻技术来生成晶体管吗?”他十分好奇地看着陆见。
陆见点头,“没错,利用光学透镜,将整个电路图直接光刻上去,只可惜现在的光学透镜倍率不行......”后面的话陆见并没有说完,很多研究都是这样,不单单只是一项独立的技术来,需要各个地方的配合。
就在陆见遗憾的时候,还在看报告的陆先锋突然抬起了头,皱眉想着什么,然后有些迟疑地说:“我记得S市有一家光学精密机械研究所,说不定里面会有倍率更高的光学透镜。还有首都的中科院光电技术研究所,A市也还有一家光学研究所,是可以试着找一下,不行的话也可以像上面打下申请,上面肯定会出面帮忙的。说不定能让那些光学研究所专门开个透镜研究项目,那以后不就方便了。”
陆先锋一下子说得挺对,而且还都挺有道理的,蓝明达立即赞同地说:“没错,没错,一定要问一问,说不定咱们还能生成6000和8000的晶体管芯片来。”
陆见也觉得可行,不过还是要让数控机床项目组的负责人上报比较好,他还是要去找周老,正好将最新的进展告诉他。
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